Наследники воронежской электроники: как НИИПМ создает технологический суверенитет России
В 2026 году АО «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения» исполнится 65 лет. Сегодня – это ключевой игрок в возрождении отечественного микроэлектронного производства. Как удалось сохранить и приумножить уникальный научно-технический потенциал, и в чем заключается главное конкурентное преимущество, унаследованное от советской школы полупроводникового машиностроения, рассказывает генеральный директор Александр Проценко.
- Как Вы правильно отметили, НИИПМ начал свою историю в 60-х годах прошлого столетия. Если быть точнее, то с 1961 года, он начал работать в городе Воронеже, который по праву, в то время, носил неофициальное звание столицы электроники. Поступательному развитию сегодня, безусловно, послужил тот задел, который был совершен предыдущими поколениями работников нашего предприятия и он, по-своему, имеет выдающиеся свершения.
НИИПМ стал первым в стране разработчиком установок плазменной обработки для удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин и установки для плазмохимического травления нитрида кремния, поликремния и двуокиси кремния на алюминий; комплексов для химико-механической полировки пластин; тестеров для транзисторов; проходных камер для климатических испытаний полупроводниковых приборов и другого уникального специального технологического оборудования (СТО) для производства изделий микроэлектроники и отдельных видов технологического и испытательного оборудования для производства электронной компонентной базы (ЭКБ), в том числе, не имеющих аналогов в России и за рубежом.
Институтом выполнено более 1000 научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИР и ОКР), разработано более 500 образцов СТО. Изготовлено свыше 10 тысяч единиц современного оборудования для оснащения предприятий радиоэлектронного комплекса и предприятий других областей народного хозяйства, получено свыше 1000 патентов и авторских прав.
Для ваших читателей, безусловно, будет интересны факты, что наряду с разработкой и изготовлением СТО, на рубеже 70-80 гг. прошлого столетия НИИПМ занимался конструированием изделий бытовой электронной техники.
Впервые в стране нашим предприятием были разработаны и созданы портативная переносная видеокамера, аудиоплеер, мини-ЭВМ «Электроника-100» и др. Конечно же, большим достижением НИИПМ была разработка и массовый выпуск первого отечественного видеомагнитофона.
Сегодня НИИПМ продолжает держать курс на инновационное развитие, видя свою миссию в создании перспективного, надежного, отечественного технологического оборудования для реализации целей и задач развития микроэлектроники России. Исторически сложившаяся еще со времен СССР специализация института практически не изменилась. НИИПМ демонстрирует непрерывное развитие основных направлений своей деятельности. Фотолитография, химическая обработка пластин и фотошаблонов, плазмохимическая обработка, а также контрольно-измерительное и испытательное оборудование остаются фундаментом института. Благодаря постоянному совершенствованию этих областей, НИИПМ заслужил признание и занял лидирующие позиции в отрасли. Даже в периоды экономической нестабильности, на рубеже веков, институт фокусировался на повышении технологического уровня, стимулировании творческого потенциала сотрудников и создании условий для эффективного инновационного развития.
Сейчас в отрасли есть ряд сильных предприятий, но по отдельности наши возможности фрагментарны. Для решения сложных задач и достижения целей, поставленных Минпромторгом, необходимо создавать консорциумы. Объединение усилий – прямой путь к технологическому суверенитету.
Государственная политика, направленная на этот суверенитет, бесспорно, дала толчок отечественным производителям. Наша сильная сторона – адаптивность. Мы можем быстро реализовать технические пожелания заказчика – от разработки до готового изделия обычно проходит не более года. У нас собственное ПО, гарантии и техническая поддержка.
Но главная особенность и сила предприятия – это наши люди. Инженеры, конструкторы, разработчики, производственники – те, кто создавал НИИПМ в прошлом и развивает его сегодня.
Стратегия развития и вызовы
– Как формируется портфель заказов? Кто ваши основные клиенты?
– НИИПМ – это ключевой представитель отрасли электронного машиностроения, старейшее и единственное предприятие-разработчик и изготовитель уникального СТО.
За последние два-три года мы многократно увеличили объемы производства. В цифрах это выглядит так: объем производства и поставок СТО в 2022 году увеличен в 1,8 раза, а в 2023 году – в 3,5 раза, в 2024 – в 1,3 раза. И здесь важно отметить, что это увеличение произошло без опытного производства, которое было во времена СССР. Иными словами – исключительно своими силами на собственной научно-производственной базе. Портфель заказов на 2026 год уже сформирован, идет работа над созданием задела на 2027-2028 годы.
Основными потребителями производимой продукции являются предприятия Российской Федерации и Республики Беларусь, в том числе, в рамках государственных программ по развитию радиоэлектронной промышленности Союзного государства. География нашей деятельности, равно, как и круг деловых основных партнеров и заказчиков, достаточно обширна. В настоящее время мы взаимодействуем с предприятиями ряда городов России и Республики Беларусь.
Роль НИИПМ в сложившихся современных реалиях, когда ставка сделана на создание технического суверенитета страны и развитие электронной промышленности, сложно переоценить. Широкая номенклатура СТО для производства изделий микроэлектроники востребована как никогда. И перед предприятием стоят еще более масштабные задачи. Здесь можно отметить ряд направлений.
В частности, технологии фотолитографии и оборудование для их реализации определяют достигнутый уровень развития микроэлектроники и электронного машиностроения в стране. Сейчас российские предприятия отрасли могут производить продукцию по топологическим нормам 130 нм. Федеральными программами развития электроники определено, что в 2029 году топология составит 90 нм, после 2030 года – 65 нм.
Особое место здесь занимает создание фотолитографического оборудования кластерной конфигурации, первые образцы которого были созданы НИИПМ еще в 2003 году.
Кластерные линии фотолитографии представляют собой высокотехнологичное оборудование для выполнения этапов формирования фоторезистивной маски, обработки промотором адгезии, нанесения фоторезиста, сушки, термостабилизации, проявления. Сейчас данная разработка проходит ускоренный путь модернизации конструкции с применением нескольких роботов и увеличения количества позиций обработки, с целью кратного повышения производительности. В итоге, запуск кластера на предприятиях-партнерах позволит перейти на качественно новый уровень выпуска ЭКБ, а действующие образцы станут визитной карточкой НИИПМ и обеспечат суверенитет в выпуске СТО.
С августа 2024 года, после государственной регистрации регионального кластера предприятий радиоэлектронной промышленности НИИПМ стал его ключевым участником, реализуя один из трех проектов по импортозамещению: «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера».
Важно понимать, что вся наша продукция – это фактически импортозамещение. У нас есть собственные коммерческие разработки, НИОКРы, а также отдельные проекты. Однако проблема элементной базы остается острой. Несмотря на усилия по созданию отдельных компонентов оборудования, которые сегодня уже невозможно приобрести, этот вопрос требует более пристального внимания. Примерами нашей работы в этом направлении являются реаниматор дионизованной воды, источник питания для стендов электротермо-тренировки, тестер силовых диодов, ультразвуковой расходомер, мега звуковой генератор и регулятор дроссельной заслонки. Освоение элементной базы – задача первостепенной важности, но ограниченные ресурсы и сроки выпуска товарной продукции не позволяют нам полностью погрузиться в этот процесс. Для производства нашей продукции требуется сотни наименований комплектующих, даже при полной мобилизации ресурсов, времени, финансов может не хватить. Это системный вопрос, который нельзя решить в одиночку. Пока мы полагаемся на аналоги из дружественных стран и параллельный импорт, но это лишь временное решение. Импортозамещение и внедрение новых технологических процессов – путь прогресса и получения технического и технологического суверенитета страны.
Также, в настоящее время, институтом ведутся переговоры с рядом предприятий, НИИ, Федеральных университетов по проектированию технологических участков создания ЭКБ с применением автоматизации и роботизации технологических процессов с целью снижения межоперационных загрязнений и ухода от групповых методов обработки к индивидуальным с повышением требований к технологическим средам.
Наука, кадры и технологии
– Решение кадрового вопроса, наверное, самый серьезный вызов для высокотехнологичных предприятий. Как вы решаете проблему привлечения и удержания молодых ученых, инженеров, конструкторов? Как организована ваша исследовательская деятельность? Есть ли у вас проекты в коллаборации с академическими институтами?
– Сегодня в НИИПМ около 150 сотрудников, половина из которых – научные и инженерно-технические работники. Среди них доктора и кандидаты наук, инженерно-технические работники, высококвалифицированная команда сервисного центра по наладке, запуску и гарантийному обслуживанию СТО.
Для сравнения: «в лучшие годы» с опытным производством нас было порядка 5000 человек. Но в 2023-м наш коллектив сумел выпустить 48 единиц оборудования – такого объема в годовом исчислении НИИПМ не выпускал никогда за всю свою историю.
Подготовка кадров — приоритет. Мы тесно сотрудничаем с Национальным исследовательским университетом «Московский институт электронной техники» (МИЭТ), шестью региональными вузами высшей школы и двумя профессиональными образовательными организациями по подготовке рабочих профессий. За последнее десятилетие 25 выпускников МИЭТ пришли к нам работать. Мы отлично осознаем, что молодежь – это будущее НИИПМ, который для многих из нас стал смыслом жизни, здесь реализовываются наши идеи, раскрывается научный и производственный потенциал. Верим, что у нашего института впереди новые интересные и важные для нашей страны работы, направленные на реализацию развития отрасли.
Вопросы подготовки кадров тесно взаимосвязаны с научно-исследовательской деятельностью. За последние почти тридцать лет ряд необходимых для нас компетенций были просто утеряны, в частности, в сфере электронного машиностроения, отдельных химических технологий и др.
В настоящее время, мы выделили в отдельное направление вопросы по подготовке научных и научно-педагогических кадров из числа наиболее талантливых выпускников вузов и специалистов НИИПМ для вовлечения их в научно-образовательный процесс, а также для обеспечения естественной ротации научных работников, способных самостоятельно и творчески проводить научные исследования по избранной специальности, воссоздать, сохранять и приумножать традиции научной школы предприятия.
В рамках данного проекта, мы делаем попытку объединить на базе нашей научной организации решение комплекса проблем с учетом потребностей предприятий, вузов и региона. Например, плазменные технологические процессы для типов оборудования, которое мы выпускаем, нашими технологами освоены в полной мере, и мы могли бы поделиться с вузами своими наработками. Думаю, что и ученым вузов есть, что предложить нам. Одной из ключевой проблемы на наш взгляд является внедрение в реальный сектор экономики и коммерциализация научных разработок вузов, которые мы также могли решать совместно. Обсуждение этого направления деятельности с представителями региональных вузов, предприятиями – деловыми партнерами дали первые положительные отклики. Поэтому у нас есть уверенность в реализации данного вопроса.
Производство и стандарты
- Вы выполнили более 1000 НИОКР, но серийно производите около 100 наименований. Каков обычно путь от опытного образца до серийного производства? Где «узкое место»?
- Спектр изделий под маркой НИИПМ весьма широк. Он представлен автоматизированными и роботизированными линиями химической обработки пластин, трековым и кластерным оборудованием фотолитографии, оборудованием гидромеханической и мегазвуковой очистки пластин, фотошаблонов, керамических и стеклянных подложек. Также институтом производится плазмохимическое, контрольно-измерительное, стендовое и испытательное оборудование.
НИИПМ разработаны и реализованы ряд успешных проектов в сфере робототехники: роботы типа SCARA, которые предназначены для использования в автоматическом фотолитографическом оборудовании.
НИИПМ стал участником группы Минпромторга по разработке и составлению обновленных стандартов для отрасли электронного машиностроения. Также в ходе реализации программы развития института выполнен проект по разработке кластерных линий фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином модуле с применением нескольких роботов. Разработанные фотолитографические кластеры могут быть выполнены в нескольких модификациях, позволяют либо интегрироваться со степпером, либо работать автономно. И то, и другое имеет свои преимущества, и поэтому востребованы потребителями. Также в рамках программы институтом разработаны кластерные линии для индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм.
Высоким спросом на сегодняшний день пользуется контрольно-испытательное и стендовое оборудование, предназначенное для проведения климатических испытаний ЭКБ. Конечно же, в данный момент, после десятилетий забвения сложно конкурировать с западными образцами технологического оборудования. Но современные возможности САПР, высококвалифицированные кадры, опыт и наследие прошлых лет, а также грамотный подход в управлении предприятием дают свои положительные результаты.
Сегодня выпускается порядка тридцати наименований СТО, разработанного с учетом специфических требований заказчиков.
Что же касается «узких мест», то еще раз сделаю акцент на том, что мы производим преимущественно уникальное оборудование малыми сериями под конкретные требования заказчиков. Емкости рынка для тиражирования сотнями штук в год однотипной продукции нет. Поэтому каждая модель всегда будет улучшенной и модифицированной. Более 50% нашей продукции – это индивидуальные разработки. Благодаря агрегатно-модульному принципу проектирования мы сократили цикл от разработки до сдачи оборудования до 10-12 месяцев. Основное ограничение сейчас – это доступность всего номенклатурного ряда элементной базы, надежность аналогов и сроки поставок. Еще одним проблемным вопросом при увеличении объема заказов, является нехватка высококвалифицированных специалистов.
Взгляд в будущее
- Каким вы видите НИИПМ через 5–7 лет?
- Если заглянуть в будущее, то думаю, что при сохранении темпов развития, НИИПМ должен будет трансформироваться в многопрофильный технологический хаб, объединяющий: разработку полного цикла производственных линий; создание СТО для особых условий эксплуатации (Роскосмос, Росатом и т.п.); робототехнику не только в сфере микроэлектроники и машиностроения; научно-исследовательскую деятельность в области новых материалов и других междисциплинарных исследований; образовательный центр подготовки кадров.
Для успешной реализации «видения будущего» нужно сосредоточится на создании уникальных технологических решений, востребованных, как на внутреннем, так и на внешнем рынках, при этом активно используя государственную поддержку и развивая собственные компетенции в области управления инновациями по видам деятельности института.
Заключительный, личный вопрос
- Что для вас как руководителя самое важное и самое сложное в управлении НИИПМ?
- Уверенность в будущем строится на сочетании богатого опыта прошлого, современных возможностей и четкого понимания стратегических задач. Главное – сохранить баланс между традициями и инновациями, между государственными интересами и коммерческой эффективностью, между развитием технологий и развитием людей.
Ирина ПОЛУЭКТОВА
- Как Вы правильно отметили, НИИПМ начал свою историю в 60-х годах прошлого столетия. Если быть точнее, то с 1961 года, он начал работать в городе Воронеже, который по праву, в то время, носил неофициальное звание столицы электроники. Поступательному развитию сегодня, безусловно, послужил тот задел, который был совершен предыдущими поколениями работников нашего предприятия и он, по-своему, имеет выдающиеся свершения.
НИИПМ стал первым в стране разработчиком установок плазменной обработки для удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин и установки для плазмохимического травления нитрида кремния, поликремния и двуокиси кремния на алюминий; комплексов для химико-механической полировки пластин; тестеров для транзисторов; проходных камер для климатических испытаний полупроводниковых приборов и другого уникального специального технологического оборудования (СТО) для производства изделий микроэлектроники и отдельных видов технологического и испытательного оборудования для производства электронной компонентной базы (ЭКБ), в том числе, не имеющих аналогов в России и за рубежом.
Институтом выполнено более 1000 научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИР и ОКР), разработано более 500 образцов СТО. Изготовлено свыше 10 тысяч единиц современного оборудования для оснащения предприятий радиоэлектронного комплекса и предприятий других областей народного хозяйства, получено свыше 1000 патентов и авторских прав.
Для ваших читателей, безусловно, будет интересны факты, что наряду с разработкой и изготовлением СТО, на рубеже 70-80 гг. прошлого столетия НИИПМ занимался конструированием изделий бытовой электронной техники.
Впервые в стране нашим предприятием были разработаны и созданы портативная переносная видеокамера, аудиоплеер, мини-ЭВМ «Электроника-100» и др. Конечно же, большим достижением НИИПМ была разработка и массовый выпуск первого отечественного видеомагнитофона.
Сегодня НИИПМ продолжает держать курс на инновационное развитие, видя свою миссию в создании перспективного, надежного, отечественного технологического оборудования для реализации целей и задач развития микроэлектроники России. Исторически сложившаяся еще со времен СССР специализация института практически не изменилась. НИИПМ демонстрирует непрерывное развитие основных направлений своей деятельности. Фотолитография, химическая обработка пластин и фотошаблонов, плазмохимическая обработка, а также контрольно-измерительное и испытательное оборудование остаются фундаментом института. Благодаря постоянному совершенствованию этих областей, НИИПМ заслужил признание и занял лидирующие позиции в отрасли. Даже в периоды экономической нестабильности, на рубеже веков, институт фокусировался на повышении технологического уровня, стимулировании творческого потенциала сотрудников и создании условий для эффективного инновационного развития.
Сейчас в отрасли есть ряд сильных предприятий, но по отдельности наши возможности фрагментарны. Для решения сложных задач и достижения целей, поставленных Минпромторгом, необходимо создавать консорциумы. Объединение усилий – прямой путь к технологическому суверенитету.
Государственная политика, направленная на этот суверенитет, бесспорно, дала толчок отечественным производителям. Наша сильная сторона – адаптивность. Мы можем быстро реализовать технические пожелания заказчика – от разработки до готового изделия обычно проходит не более года. У нас собственное ПО, гарантии и техническая поддержка.
Но главная особенность и сила предприятия – это наши люди. Инженеры, конструкторы, разработчики, производственники – те, кто создавал НИИПМ в прошлом и развивает его сегодня.
Стратегия развития и вызовы
– Как формируется портфель заказов? Кто ваши основные клиенты?
– НИИПМ – это ключевой представитель отрасли электронного машиностроения, старейшее и единственное предприятие-разработчик и изготовитель уникального СТО.
За последние два-три года мы многократно увеличили объемы производства. В цифрах это выглядит так: объем производства и поставок СТО в 2022 году увеличен в 1,8 раза, а в 2023 году – в 3,5 раза, в 2024 – в 1,3 раза. И здесь важно отметить, что это увеличение произошло без опытного производства, которое было во времена СССР. Иными словами – исключительно своими силами на собственной научно-производственной базе. Портфель заказов на 2026 год уже сформирован, идет работа над созданием задела на 2027-2028 годы.
Основными потребителями производимой продукции являются предприятия Российской Федерации и Республики Беларусь, в том числе, в рамках государственных программ по развитию радиоэлектронной промышленности Союзного государства. География нашей деятельности, равно, как и круг деловых основных партнеров и заказчиков, достаточно обширна. В настоящее время мы взаимодействуем с предприятиями ряда городов России и Республики Беларусь.
Роль НИИПМ в сложившихся современных реалиях, когда ставка сделана на создание технического суверенитета страны и развитие электронной промышленности, сложно переоценить. Широкая номенклатура СТО для производства изделий микроэлектроники востребована как никогда. И перед предприятием стоят еще более масштабные задачи. Здесь можно отметить ряд направлений.
В частности, технологии фотолитографии и оборудование для их реализации определяют достигнутый уровень развития микроэлектроники и электронного машиностроения в стране. Сейчас российские предприятия отрасли могут производить продукцию по топологическим нормам 130 нм. Федеральными программами развития электроники определено, что в 2029 году топология составит 90 нм, после 2030 года – 65 нм.
Особое место здесь занимает создание фотолитографического оборудования кластерной конфигурации, первые образцы которого были созданы НИИПМ еще в 2003 году.
Кластерные линии фотолитографии представляют собой высокотехнологичное оборудование для выполнения этапов формирования фоторезистивной маски, обработки промотором адгезии, нанесения фоторезиста, сушки, термостабилизации, проявления. Сейчас данная разработка проходит ускоренный путь модернизации конструкции с применением нескольких роботов и увеличения количества позиций обработки, с целью кратного повышения производительности. В итоге, запуск кластера на предприятиях-партнерах позволит перейти на качественно новый уровень выпуска ЭКБ, а действующие образцы станут визитной карточкой НИИПМ и обеспечат суверенитет в выпуске СТО.
С августа 2024 года, после государственной регистрации регионального кластера предприятий радиоэлектронной промышленности НИИПМ стал его ключевым участником, реализуя один из трех проектов по импортозамещению: «Разработка и организация производства оборудования индивидуальной жидкостной химической обработки пластин до 200 мм в компоновке однопозиционных установок и роботизированного кластера».
Важно понимать, что вся наша продукция – это фактически импортозамещение. У нас есть собственные коммерческие разработки, НИОКРы, а также отдельные проекты. Однако проблема элементной базы остается острой. Несмотря на усилия по созданию отдельных компонентов оборудования, которые сегодня уже невозможно приобрести, этот вопрос требует более пристального внимания. Примерами нашей работы в этом направлении являются реаниматор дионизованной воды, источник питания для стендов электротермо-тренировки, тестер силовых диодов, ультразвуковой расходомер, мега звуковой генератор и регулятор дроссельной заслонки. Освоение элементной базы – задача первостепенной важности, но ограниченные ресурсы и сроки выпуска товарной продукции не позволяют нам полностью погрузиться в этот процесс. Для производства нашей продукции требуется сотни наименований комплектующих, даже при полной мобилизации ресурсов, времени, финансов может не хватить. Это системный вопрос, который нельзя решить в одиночку. Пока мы полагаемся на аналоги из дружественных стран и параллельный импорт, но это лишь временное решение. Импортозамещение и внедрение новых технологических процессов – путь прогресса и получения технического и технологического суверенитета страны.
Также, в настоящее время, институтом ведутся переговоры с рядом предприятий, НИИ, Федеральных университетов по проектированию технологических участков создания ЭКБ с применением автоматизации и роботизации технологических процессов с целью снижения межоперационных загрязнений и ухода от групповых методов обработки к индивидуальным с повышением требований к технологическим средам.
Наука, кадры и технологии
– Решение кадрового вопроса, наверное, самый серьезный вызов для высокотехнологичных предприятий. Как вы решаете проблему привлечения и удержания молодых ученых, инженеров, конструкторов? Как организована ваша исследовательская деятельность? Есть ли у вас проекты в коллаборации с академическими институтами?
– Сегодня в НИИПМ около 150 сотрудников, половина из которых – научные и инженерно-технические работники. Среди них доктора и кандидаты наук, инженерно-технические работники, высококвалифицированная команда сервисного центра по наладке, запуску и гарантийному обслуживанию СТО.
Для сравнения: «в лучшие годы» с опытным производством нас было порядка 5000 человек. Но в 2023-м наш коллектив сумел выпустить 48 единиц оборудования – такого объема в годовом исчислении НИИПМ не выпускал никогда за всю свою историю.
Подготовка кадров — приоритет. Мы тесно сотрудничаем с Национальным исследовательским университетом «Московский институт электронной техники» (МИЭТ), шестью региональными вузами высшей школы и двумя профессиональными образовательными организациями по подготовке рабочих профессий. За последнее десятилетие 25 выпускников МИЭТ пришли к нам работать. Мы отлично осознаем, что молодежь – это будущее НИИПМ, который для многих из нас стал смыслом жизни, здесь реализовываются наши идеи, раскрывается научный и производственный потенциал. Верим, что у нашего института впереди новые интересные и важные для нашей страны работы, направленные на реализацию развития отрасли.
Вопросы подготовки кадров тесно взаимосвязаны с научно-исследовательской деятельностью. За последние почти тридцать лет ряд необходимых для нас компетенций были просто утеряны, в частности, в сфере электронного машиностроения, отдельных химических технологий и др.
В настоящее время, мы выделили в отдельное направление вопросы по подготовке научных и научно-педагогических кадров из числа наиболее талантливых выпускников вузов и специалистов НИИПМ для вовлечения их в научно-образовательный процесс, а также для обеспечения естественной ротации научных работников, способных самостоятельно и творчески проводить научные исследования по избранной специальности, воссоздать, сохранять и приумножать традиции научной школы предприятия.
В рамках данного проекта, мы делаем попытку объединить на базе нашей научной организации решение комплекса проблем с учетом потребностей предприятий, вузов и региона. Например, плазменные технологические процессы для типов оборудования, которое мы выпускаем, нашими технологами освоены в полной мере, и мы могли бы поделиться с вузами своими наработками. Думаю, что и ученым вузов есть, что предложить нам. Одной из ключевой проблемы на наш взгляд является внедрение в реальный сектор экономики и коммерциализация научных разработок вузов, которые мы также могли решать совместно. Обсуждение этого направления деятельности с представителями региональных вузов, предприятиями – деловыми партнерами дали первые положительные отклики. Поэтому у нас есть уверенность в реализации данного вопроса.
Производство и стандарты
- Вы выполнили более 1000 НИОКР, но серийно производите около 100 наименований. Каков обычно путь от опытного образца до серийного производства? Где «узкое место»?
- Спектр изделий под маркой НИИПМ весьма широк. Он представлен автоматизированными и роботизированными линиями химической обработки пластин, трековым и кластерным оборудованием фотолитографии, оборудованием гидромеханической и мегазвуковой очистки пластин, фотошаблонов, керамических и стеклянных подложек. Также институтом производится плазмохимическое, контрольно-измерительное, стендовое и испытательное оборудование.
НИИПМ разработаны и реализованы ряд успешных проектов в сфере робототехники: роботы типа SCARA, которые предназначены для использования в автоматическом фотолитографическом оборудовании.
НИИПМ стал участником группы Минпромторга по разработке и составлению обновленных стандартов для отрасли электронного машиностроения. Также в ходе реализации программы развития института выполнен проект по разработке кластерных линий фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином модуле с применением нескольких роботов. Разработанные фотолитографические кластеры могут быть выполнены в нескольких модификациях, позволяют либо интегрироваться со степпером, либо работать автономно. И то, и другое имеет свои преимущества, и поэтому востребованы потребителями. Также в рамках программы институтом разработаны кластерные линии для индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм.
Высоким спросом на сегодняшний день пользуется контрольно-испытательное и стендовое оборудование, предназначенное для проведения климатических испытаний ЭКБ. Конечно же, в данный момент, после десятилетий забвения сложно конкурировать с западными образцами технологического оборудования. Но современные возможности САПР, высококвалифицированные кадры, опыт и наследие прошлых лет, а также грамотный подход в управлении предприятием дают свои положительные результаты.
Сегодня выпускается порядка тридцати наименований СТО, разработанного с учетом специфических требований заказчиков.
Что же касается «узких мест», то еще раз сделаю акцент на том, что мы производим преимущественно уникальное оборудование малыми сериями под конкретные требования заказчиков. Емкости рынка для тиражирования сотнями штук в год однотипной продукции нет. Поэтому каждая модель всегда будет улучшенной и модифицированной. Более 50% нашей продукции – это индивидуальные разработки. Благодаря агрегатно-модульному принципу проектирования мы сократили цикл от разработки до сдачи оборудования до 10-12 месяцев. Основное ограничение сейчас – это доступность всего номенклатурного ряда элементной базы, надежность аналогов и сроки поставок. Еще одним проблемным вопросом при увеличении объема заказов, является нехватка высококвалифицированных специалистов.
Взгляд в будущее
- Каким вы видите НИИПМ через 5–7 лет?
- Если заглянуть в будущее, то думаю, что при сохранении темпов развития, НИИПМ должен будет трансформироваться в многопрофильный технологический хаб, объединяющий: разработку полного цикла производственных линий; создание СТО для особых условий эксплуатации (Роскосмос, Росатом и т.п.); робототехнику не только в сфере микроэлектроники и машиностроения; научно-исследовательскую деятельность в области новых материалов и других междисциплинарных исследований; образовательный центр подготовки кадров.
Для успешной реализации «видения будущего» нужно сосредоточится на создании уникальных технологических решений, востребованных, как на внутреннем, так и на внешнем рынках, при этом активно используя государственную поддержку и развивая собственные компетенции в области управления инновациями по видам деятельности института.
Заключительный, личный вопрос
- Что для вас как руководителя самое важное и самое сложное в управлении НИИПМ?
- Уверенность в будущем строится на сочетании богатого опыта прошлого, современных возможностей и четкого понимания стратегических задач. Главное – сохранить баланс между традициями и инновациями, между государственными интересами и коммерческой эффективностью, между развитием технологий и развитием людей.
Ирина ПОЛУЭКТОВА
ГАЛЕРЕЯ
/ ВСЕ СОБЫТИЯ
